3D光學(xué)表面輪廓儀S neox將共聚焦、干涉和多焦面添加3種測量技術(shù)融合于一體，測量頭內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件。3D光學(xué)輪廓儀S neox 為客戶展現(xiàn)全新的3D立體形貌。 S neox采用Sensofar設(shè)計(jì)的Microdisplay共聚焦掃描技術(shù)。Microdisplay使用FLCOS原理，可實(shí)現(xiàn)無需機(jī)械運(yùn)動(dòng)的快速共聚焦掃描。它具有高速、穩(wěn)定和無限使用時(shí)間的特點(diǎn)。現(xiàn)有的其他品牌共聚焦顯微鏡都采用鏡片震動(dòng)掃描的方式，因?yàn)橛袡C(jī)械震動(dòng)會(huì)造成測量時(shí)抖動(dòng)，使用時(shí)間也有限。
一、3D光學(xué)表面輪廓儀S neox的特點(diǎn)：
1、多波長的LED光源
S neox有4個(gè)獨(dú)立的LED光源紅色、綠色、藍(lán)色和白色，可以滿足各種應(yīng)用的需要。
2、驚艷的圖片質(zhì)量
S neox采用1360×1024的高分辨率CCD，顯示分辨率達(dá)2560×1440像素。圖像銳利、生動(dòng)、無延遲。
3、順序照明的彩色圖像
在掃描時(shí)紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，并將三張彩色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，S neox獲得的圖片色彩保真度和還原性要更勝*。
4、栩栩如生的3D形貌呈現(xiàn)清晰的納米世界
彩色共聚焦觀察方式使用戶能在視場內(nèi)觀察到納米級的細(xì)節(jié)。
5、難以置信的3D掃描速度
一次完整的3D掃描時(shí)間還不到10秒。用掃描速度掃描低反射率的樣品時(shí)，3D掃描時(shí)間將少于3秒。
6、高質(zhì)量的物鏡，好的成像質(zhì)量
S neox的水平分辨率和縱向分辨率要比激光共聚焦顯微鏡更優(yōu)秀，達(dá)到了光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)的極限。
二、SensoSCAN測量及分析軟件：
1、省時(shí)省力
SensoSCAN是一款簡潔友好的操作軟件。在軟件界面內(nèi)，用戶可以直觀明確地了解所用的測量方式，同時(shí)還能顯示和分析數(shù)據(jù)。
2、完善系統(tǒng)的*工具
導(dǎo)航預(yù)覽功能可以自動(dòng)地幫助用戶在準(zhǔn)備測量前大范圍觀察樣品，找到測量點(diǎn)。當(dāng)轉(zhuǎn)換倍數(shù)時(shí)，預(yù)覽圖上也會(huì)實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前的觀察點(diǎn)位置。
3、智能編程，全自動(dòng)測量
全自動(dòng)測量是一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)功能，通過它用戶能輕易地實(shí)現(xiàn)可定制的質(zhì)量管控。對在線測量來說，用戶可以方便地實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品ID輸入、自動(dòng)走位測量、自動(dòng)數(shù)據(jù)輸出和‘pass和fail’判斷。
4、快速完成測量計(jì)算
*的算法使S neox能在放置樣品后不到一分鐘就給出結(jié)果。所有的數(shù)據(jù)都是我們專注于質(zhì)量和高性能的成果。
5、強(qiáng)大的專業(yè)分析軟件
增配SensoPRO或SensoMAP軟件就能輕易實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量和分析。
三、應(yīng)用：
S neox是一款多用途的設(shè)備，可以滿足您的各種應(yīng)用要求，在半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥和生物技術(shù)產(chǎn)業(yè)里起到關(guān)鍵作用。
